产品描述
· 测量参数：R（直流电阻）、I（直流电流）、ps（表面电阻率），pv（体电阻率）。
· 测量范围：电阻1*103Ω 至 1x1015Ω；电流1pA至100uA。
· 测量速度：***快9.5ms的测量时间。
· 基本测量精度：2%。
· 4个通道，可用于多个被测件，4个通道可同时测试。
· 接触检查功能：可以检测测试夹具与器件之间的接触故障，2毫秒/点，的测试
精度：2%
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